電容式差壓變送器的分辨力非常高，靜態(tài)精度和動態(tài)特性好，結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強，廣 泛應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)中的差壓、壓力和表壓力的檢測，開口容器或受壓容器內(nèi)液體的液位 檢測，以及配套節(jié)流裝置中液體、氣體和蒸氣的流量檢測等。由于電容式差壓變送器的優(yōu)異 特點和應(yīng)用的廣泛性，使它正在取代過去使用較多的膜片式、膜盒式、波紋管式及力平衡式 壓力傳感器和變送器。

在應(yīng)用電容式差壓變送器時，要根據(jù)需要進行適當(dāng)調(diào)整，以達到盡量高的準(zhǔn)確度。

(1)量程調(diào)整和零點遷移

1)'量程調(diào)整_圖3-29是電容式差壓變送器的輸人一輸出特性曲線，其中Xmin和Xmax 分別為被測過程參數(shù)的下限值和上限值，即變送器輸人信號的量程范圍。ymin和ymax分別是變送器輸出信號的下限值和上限值，與標(biāo)準(zhǔn)統(tǒng)一信號的下限值和上限值相對應(yīng)，對于III型表，它們分別是4mA和20mA|J

量程調(diào)整又稱為滿度jM整，調(diào)整的目的是為了使變送器輸出信號的上限值ymax與被測參 數(shù)的上限值xmax相對應(yīng)。k常變送器輸出信號的應(yīng)限值是固定的（20mA)，而被測參數(shù)的上 限值則根據(jù)實際生產(chǎn)過程要求是不同的。量程調(diào)整實際上就是通過改變變送器的放大增益， 改變其輸人一輸出特性曲線的斜率，使被測參數(shù)的zui大值與變送器輸出信號的zui大值對應(yīng)。 圖3-29b中曲線1為量程調(diào)整前的特性曲線，當(dāng)被測參數(shù)值為時，對應(yīng)變送器的輸出zui 大，不能實現(xiàn)實際滿量程的測量；曲線2是對變送器進行量程調(diào)整后的輸人一輸出特性曲 線，使實際滿量程％max與變送器輸出信號的上限值ymax相對應(yīng)

2)零點調(diào)整和零點遷移。零點調(diào)整和零點遷移是使變送器輸出信號的下限值ymin與被 測參數(shù)的下限值*min相對應(yīng)。通常變送器輸出信號的下限值是固定的（如4mA),在被測參 數(shù)的下限值;《min =0時，使；ymin =4mA的調(diào)整就稱 

為零點調(diào)整；在被測參數(shù)的下限值*min#0時，使 y—=4mA的調(diào)整過程就稱為零點遷移，零'點遷 移分為正遷移和負(fù)遷移兩種。

例如，、壓力的測量范圍為-2 ~ 3kPa,則 xm；B = - 2kPa,為負(fù)值，量程為5kPa$ .因此變送 器測量的起始點要從OkPa遷移到-2kPa,使ymin 與*min相對應(yīng)，這個過程就稱為零點負(fù)遷移；反 之，即為零點正遷移。圖3-30為零點遷移示意 圖，其中曲線1為未遷移的輸入一輸出特性曲線，

對應(yīng)的測量范圍是0 ~5kPa;曲線2是零點負(fù)遷移的特性曲線，對應(yīng)的測量范圍是-2 ~ 3kPa；曲線3是零點正遷移的特性曲線，對應(yīng)的測量范圍是2 ~7kPa。通過對特性曲線的分 析，可以得出結(jié)論：零點遷移是改變測量的上、下限，而曲線斜率不變，即量程不改變但是要注意，遷移量不能無限地增加，它受到以下兩方面的約束：

①不能遷移到超過zui 大測量上限的值及zui大量程。例如，某種變送器的zui大測量上限及zui大量程均為 40kPa,因此不能將變送器遷移到32 ~42kPa,而只能遷移到32 ~40kPa。負(fù)遷移也是如此， 不能遷移到-42 ~ -32kPa,而只能遷移到-40 ~ - 32kPa或-40 ~ -30kPao另外，也不能 遷移到-40 ~10kPa,而只能遷移到-40 ~0kPa或-30 ~0kPa。

②量程不應(yīng)壓縮到允許zui小量程以下，例如規(guī)格為0 ~6kPa至0 ~40kPa的變送器允許zui小量程為6kPa|因此不要將變 送器遷移到35 ~40kPa,而應(yīng)改為34 ~40kPao

(2) 線性度調(diào)整和阻尼調(diào)整

1) 線性度調(diào)整。為了使變送義的輸人一輸出特性達到高度的線性，因此在放大器電路 板焊接面上，還備有線性調(diào)節(jié)電位器

通常情況下，線性度調(diào)整.作已'在變送器出廠時完成，一般不必進行調(diào)節(jié).如有必要 (需要在某r?特定范圍內(nèi)改善線性>,而且條件具備時（校正時需要高精度的標(biāo)準(zhǔn)儀表），也 、進行，但必須按規(guī)程進行調(diào)整_

2) 阻尼調(diào)整|變送器的放大器電路板上有阻尼調(diào)節(jié)電位器，在變送器出廠校驗時，.已 經(jīng)將阻尼調(diào)節(jié)電位器逆時針旋到底（阻尼時間約0.2s),即阻尼zui小位置。由于變送器標(biāo)定 不受阻尼調(diào)節(jié)的影響，阻尼調(diào)節(jié)可在變送器安裝好以后進行。要調(diào)節(jié)阻尼時可順時針方向 轉(zhuǎn)動阻尼調(diào)節(jié)電位器所謂阻尼時間即變送器的輸出隨被測壓力變化的反應(yīng)速度|一般電容式差壓變送器的zui 大阻尼時間常數(shù)大于等于1. 67s。

注意：調(diào)節(jié)阻尼時可用小旋具插入調(diào)節(jié)孔，當(dāng)順時針方向旋轉(zhuǎn)時，其阻尼時間將增大， 但當(dāng)旋到底時不可用力再擰，以免損壞電位器

(3) 變送器的接線變送器的接線根據(jù)信號線與電源線的連接方式分為兩線制和四線

制兩種。兩線制變送器的工作電 源為直流24V，只有兩根導(dǎo)線，' 信號線和電源線并用，導(dǎo)線上同 時傳送變送器的工作電源電壓與 輸出的電流信號，如圖3-31a所 示；四線制變送器的工作電源為 交流220V，電源線和信號線分 開，各有兩根，如圖3-31

兩線制變送器可以節(jié)省電 纜，敷設(shè)時只需一根穿線管道，

若用于易燃易爆的場合，還可節(jié)省一個安全柵。它具有降低成本，提高安全性能的優(yōu)點，所 以應(yīng)用較多@但同時，由于電源線和信號線共用，可能會給輸出的電流信號帶來干擾，影響測量的可靠性及精度。

擴散硅差壓變送器

利用具有壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體材料可以做成粘貼式的半導(dǎo)體應(yīng)變片，進行壓力的檢測。隨 著半導(dǎo)體集成電路制造工藝的不斷發(fā)展，人們利用半導(dǎo)體制造工藝的擴散技術(shù)，將敏感元件 和應(yīng)變材料合二為一制成擴散型壓阻式傳感器由于這類傳感器的應(yīng)變電阻和基底都是用半 導(dǎo)體硅制成的，所以又稱為擴散硅壓阻式傳感器|在半導(dǎo)體基底上還可以很方便地將^些溫 度補償、信號處理和放大電路等集成制造在一起，構(gòu)成集成傳感器或變送器。所以，擴散桂 壓阻式傳感器1出現(xiàn)就受到人們的普遍重視，發(fā)展很快，目前這類傳感器已經(jīng)在力學(xué)量傳感 器中占據(jù)了重要地位

1.擴散硅壓阻式傳感器的測壓原理

圖3-32所示為擴散硅壓阻式傳感器的結(jié)構(gòu)它主 要由外殼、硅杯和引線等組成。

擴散硅壓阻式傳感器的核心敏感元件是一塊圓形的 硅膜片。在硅膜片上，用半導(dǎo)體制造工藝的擴散摻雜法 做成四個阻值相等的電阻，構(gòu)成平衡電橋，再用壓焊法 與外部引線相連。測量室被硅膜片分成高壓和低壓兩個 腔室，高壓腔和被測系統(tǒng)相連接_測壓力時，低壓腔和 大氣相連通；測壓達時，低壓腔則與被測系統(tǒng)的低壓端 相連通。當(dāng)膜片兩邊存在壓力差時，膜片發(fā)生變形，產(chǎn): 生應(yīng)力應(yīng)變，從而使擴散電阻的阻值發(fā)生變化，電橋失 去平衡，輸出相應(yīng)的電壓，該電壓的大小與膜片兩邊的 壓力差成正比，從而可以測取膜片所受的壓力差值

由于硅膜片是各向異性材料，它的壓阻效應(yīng)的大小與作用力的方向有關(guān)，所以在硅膜片 承受外力時，必須同時考慮其縱向壓阻效應(yīng)（沿擴散電阻的長度方向）和橫向壓阻效應(yīng) (沿擴散電阻的寬度方向）。由于硅膜片是圓形的，受壓時的形變非常微小，其彎曲的撓度 遠遠小于其厚度，因而其應(yīng)力分布，可歸結(jié)為彈性力學(xué)中的小撓度圓薄板的應(yīng)變問題。

設(shè)均勻分布在硅膜片上的壓力為則硅膜片上各點的應(yīng)力與其半徑r的關(guān)系為

式中，為硅膜片所承受的徑向應(yīng)力、切向應(yīng)力；h、r。為硅膜片的厚度和半徑；廠為 應(yīng)力作用半徑，即電阻距硅膜片中心的距離；M為泊松比，對于硅0=0.35。

對以上兩式進行分析，時，應(yīng)力A和 都達到zui大值，隨著r值的增大，和cr7的值減?。?/p>

當(dāng)r = 0_635r。和r=0.812r。時，h和aT分別為零； 隨著r值的進‘步增大，~和進人負(fù)值區(qū)，直至 時和t分別達到負(fù)的zui大值。可見硅膜片_ 雖然受壓均勻分布，但產(chǎn)生的應(yīng)力是不均勻的，存在 正、負(fù)應(yīng)力區(qū)。因此，為了構(gòu)成差動電橋，提髙輸出 靈敏度，在硅膜片上布置電阻時，可以使&、尺3布 置在負(fù)應(yīng)力區(qū)，承受壓應(yīng)力；R2、布置在正應(yīng)力 區(qū)，承受拉應(yīng)力，如圖3-33所示

這樣，在承受壓g 力時，四個電阻有增有減，將阻值增加的兩個電阻與 阻值減小的兩個電阻分別相對接人橋路，構(gòu)成;平衡電橋

2.擴散硅差壓變送器

擴散硅差壓變送器由用來進行壓力檢測的擴散硅壓阻式傳感器（半導(dǎo)體硅杯、電橋檢 測電路）、信號放大電路和標(biāo)準(zhǔn)電流輸出電路組成，典型電路如圖3-34所示。

在差壓變送器中，測量電橋由 1mA的恒流源供電，硅膜片未受差 壓時，R1=R2=R3=RA,電橋平衡， 左右橋臂支路電流相等，I1=I2=0. 5mA。有差壓時，R3阻值減小， 漢4增加，因/2不變引起6點電位升 高；同時，由于及2增加，A減小， A不變，引起a點電位下降。ab兩 點間的電壓輸人到運算放大器A， 放大后的輸出電壓經(jīng)過晶體管VT轉(zhuǎn) 換成3 ~ 19mA的電流，此電流流過

負(fù)反饋電阻A,導(dǎo)致&點電位下降，直至M兩點間的電壓接近為零嶋恒流源保證電橋的總 電流為1mA，于是變送器的總電流為4 ~20mA，此輸出電流的大小與差壓成線性關(guān)系。

壓力計的校驗和使用

為了保證壓力測量值的統(tǒng)一，必須要有*的壓力基準(zhǔn)，以此作為壓力測量的zui高標(biāo) 準(zhǔn)。壓力基準(zhǔn)是用活塞式壓力計建立起來的^從國家壓力基準(zhǔn)到工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場壓力儀表的校驗、標(biāo)定傳遞系統(tǒng)中，作為標(biāo)準(zhǔn)壓力計量儀器的活塞式壓力計占有重要的地位

活塞式壓力計及壓力計的校驗

活塞式壓力計是基于流體靜力學(xué)平衡原理和帕斯卡定律，利用壓力作用在活塞上的力與 砝碼的重力相平衡的原理來測壓力?；钊綁毫τ嬍菈毫τ嬃恐械幕鶞?zhǔn)儀器，也是一種標(biāo)準(zhǔn) 壓力發(fā)生器，用來檢驗其他儀表，一般不能直接測量壓力。它具有精度高（可達0.02%)，

技術(shù)性能穩(wěn)定，測量范圍廣（0.5 x 104 ~109Pa)等特點，因此，在計量 部門或儀表制造及使用中得到了廣

乏應(yīng)用福

1.活塞式壓力計的結(jié)構(gòu)及原理

活塞式壓力計主要由活塞測量 系統(tǒng)（包括按碼、測量活塞和活塞 筒等）和壓力發(fā)生泵（包括手搖泵、 油杯組件）組成，如圖3-35所示。

活塞式壓力計中的壓力發(fā)生泵， 是通過加壓手輪12旋轉(zhuǎn)絲桿11，推 動加壓活塞10擠壓內(nèi)腔中的工作液， 以產(chǎn)生所需的壓力，根據(jù)流體靜力 學(xué)中液體壓力傳遞平衡原理，該外 加壓力經(jīng)工作液均勻地傳遞給測量

系統(tǒng)中的活塞和被校壓力計。當(dāng)測量系統(tǒng)中活塞3和砝碼托盤2本身的重量，以及加在托盤 上的砝碼1的重量作用在活塞上的力與壓力發(fā)生泵所產(chǎn)生的力相等時，測量活塞3浮起 在某一位置上_這時；作液的壓力為

式中，G為活塞（包括砝碼托盤）的重量和砝碼的重量；S。為活塞的有效面積。

從式（3-40)可知，由于砝碼和活塞的重量C可利用精密天平來地標(biāo)定，活塞的 有效面積A可通過對活塞式壓力計的標(biāo)定計算得到，所以壓力也就準(zhǔn)確地測量出來。一般 =lcm2或0. 1cm2?；钊矁?nèi)的工作液一般采用潔凈的變壓器油或蓖麻油等gj:

在校驗壓力計時，通過被校壓力計上的指示值與這一標(biāo)準(zhǔn)壓力值P相比較，就可知道 被校壓力計的誤差大小。

作為標(biāo)準(zhǔn)壓力計量儀器的活塞式壓力計，精度為0.002%。此外還有作為國家基準(zhǔn)器的 活塞式壓力計，zui高精度為0.005%, I級標(biāo)準(zhǔn)精度為0.01 %，II級標(biāo)準(zhǔn)精度為0.05%，I 級標(biāo)準(zhǔn)精度為0.2% A—般工業(yè)用儀表，用m級標(biāo)準(zhǔn)精度活塞式壓力計校準(zhǔn)。

在進行高精度校驗時，要注意用活塞式壓力計進行校驗時可能會產(chǎn)生誤差的一些因素。 這些因素有：重力加速度變化帶來的校驗誤差，重力加速度與校驗地的海拔、緯度有關(guān)，如 海拔越高，重力加速度越小，校驗誤差會增加|此外，溫度變化會影響活塞的有效面積，空 氣對砝碼會有一定的浮力作用，這些都是影響校驗精度的一些因素。

2. 活塞式壓力計校驗壓力計的方法

用活塞式壓力計校驗壓力計時，要嚴(yán)格遵循下列操作規(guī)程

1) 測量前，將活塞式壓力計水平放置，觀察水準(zhǔn)器中的氣泡是否位于中心，若偏離， 調(diào)節(jié)底盤上的支撐螺釘，使壓力計處于水平位置，確保測量活塞筒處于鉛直位置。

2) 把工作液（變壓器油或麻油）灌入油杯，反復(fù)旋轉(zhuǎn)手輪，以排除測量系統(tǒng)內(nèi)腔的空氣。

3) 用加壓泵加壓，檢查油路是否暢通，并裝上被校壓力計：

4) 將進油閥打開，逆時針旋轉(zhuǎn)手輪，將油吸人油路：

5) 關(guān)閉進油閥，順時針旋轉(zhuǎn)手輪產(chǎn)生壓力，加上砝碼即可進行校驗。

6) 把砝碼加到托盤上，所加砝碼重量加上活塞、托盤的重量應(yīng)與所校驗的壓力值相對 應(yīng)，再旋轉(zhuǎn)手輪加壓，使托盤升起，并與定位指示板刻度線相齊。同時，為了減小活塞與活 塞筒之間的摩擦阻力，應(yīng)使托盤以不小于30r/min的角速度向順時針方向旋轉(zhuǎn)。

7) 活塞式壓力計的活塞桿、底盤、砝碼等必須根據(jù)其出廠的編號配套使用，不能互換。

3. 活塞式壓力計的保養(yǎng)維修

活塞式壓力計有0.02和0.05級精度，使用中為了確保精度并延長使用壽命，應(yīng)注意下列幾點：

1) 使用前必須熟悉使用操作方法和注意事項。

2) 為避免損壞活塞測量系統(tǒng)，托盤上的砝碼要輕拿輕放。

3) 工作液必須按說明書規(guī)定使用，不得錯用。工作液必須經(jīng)過濾，才可使用，不準(zhǔn)混有雜質(zhì)，并應(yīng)定期更換。